從傳統(tǒng)上講，射頻探針的接觸是用鈹（beryllium）-銅（BeCu）制作的。而且人們最早采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的，之后工程師在探針技術(shù)上取得了突破，才確定了射頻探針的基本
通常需要確定以下問(wèn)題來(lái)確定探針臺(tái)的選型：1、最大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制
探針臺(tái)系統(tǒng)分為手動(dòng)探針臺(tái)與自動(dòng)探針臺(tái)，以下我們主要分析手動(dòng)探針臺(tái)：探針臺(tái)用途：手動(dòng)探針臺(tái)又稱探針測(cè)試臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多
