北京大學(xué)4英寸增強(qiáng)型探針臺(tái)裝機(jī)完成
2022年12月,清華大學(xué)4英寸增強(qiáng)型探針臺(tái)裝機(jī)完成,放置于手套箱內(nèi)使用。
產(chǎn)品實(shí)物圖:
低溫探針臺(tái)有什么優(yōu)勢(shì)?穩(wěn)定性高么?
1. 滿足各種溫度的需求(極低溫)因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在