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浙江大學集成電路學院高低溫真空測試系統(tǒng)驗收完成

2025年7月，浙江大學高低溫真空測試系統(tǒng)驗收完成，該系統(tǒng)集成了高低溫真空探針臺+半導體參數(shù)分析儀+可調單色光源+示波器等，可以測試IV，CV，PIV，加載了光纖臂，還可以在紅外，紫外波段進

齊魯空天信息研究院高低溫真空探針臺裝機并驗收

2025年6月，齊魯空天信息研究院高低溫真空探針臺裝機并驗收。主要參數(shù)達成如下：（1）極限低溫：-196.2度（液氮溫度為-196.5度），無限接近液氮溫度
（2）極限真空：-5pa
（3）達成時間：30分鐘左右

浙江某單位8英寸高低溫探針臺完成交付

2025年5月，浙江某晶圓廠8英寸高低溫探針臺完成交付。采用壓縮機制冷，溫度范圍-60~200度。


PS：現(xiàn)場交付圖