浙江大學(xué)集成電路學(xué)院高低溫真空測(cè)試系統(tǒng)驗(yàn)收完成
2025年7月，浙江大學(xué)高低溫真空測(cè)試系統(tǒng)驗(yàn)收完成，該系統(tǒng)集成了高低溫真空探針臺(tái)+半導(dǎo)體參數(shù)分析儀+可調(diào)單色光源+示波器等，可以測(cè)試IV，CV，PIV，加載了光纖臂，還可以在紅外，紫外波段進(jìn)
齊魯空天信息研究院高低溫真空探針臺(tái)裝機(jī)并驗(yàn)收
2025年6月，齊魯空天信息研究院高低溫真空探針臺(tái)裝機(jī)并驗(yàn)收。主要參數(shù)達(dá)成如下：（1）極限低溫：-196.2度（液氮溫度為-196.5度），無(wú)限接近液氮溫度
（2）極限真空：-5pa
（3）達(dá)成時(shí)間：30分鐘左右
2025年5月，浙江某晶圓廠8英寸高低溫探針臺(tái)完成交付。采用壓縮機(jī)制冷，溫度范圍-60~200度。
PS：現(xiàn)場(chǎng)交付圖
