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標(biāo)準(zhǔn)探針臺
PRODUCT

DN系列增強型探針臺

產(chǎn)品簡介：

DN系列探針臺是我司一款增強型晶圓測試探針臺，最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測試。此系列探針臺采用高剛性顯微鏡龍門結(jié)構(gòu)，顯微鏡可X-Y-Z方向進行精密位移調(diào)節(jié)。卡盤具備上下調(diào)節(jié)功能，可以使探針與樣品快速分離，提高測試效率，在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運用，配合對應(yīng)的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試。
技術(shù)特點：
• 顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降，保證高質(zhì)量的光學(xué)成像；
• 卡盤同時具備快速和微調(diào)升降，便于樣品和探針快速分離，也可以加載探針卡；
• 可升級性強，可升級卡盤360度快速移動，可升級光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。
結(jié)構(gòu)功能：
產(chǎn)品實物圖：
      

扎針圖片：

詳細參數(shù)

主要參數(shù)：
  • 主體材料：航空級鋁材
  • 卡盤材質(zhì)：316不銹鋼鍍金，帶兩個背電極，呈180度設(shè)計
  • 卡盤大小和行程：4英寸，6英寸，8英寸，12英寸。行程和卡盤大小匹配。（8英寸和12英寸的臺體自帶快速氣浮移動）
  • 卡盤Z軸升降：chuck快速升降5mm；微調(diào)升降，行程6mm，精度1微米（大波輪+搖桿設(shè)計）
  • 卡盤吸附形式：環(huán)形吸附或者多孔真空吸附，均獨立控制
  • 成像系統(tǒng)：兼容體式顯微鏡，視頻顯微鏡，金相顯微鏡，帶CCD成像系統(tǒng)，可拍照，錄像，標(biāo)尺
  • 探針座：可選直流或者射頻探針座，精度0.5um，0.7um，1um可選
  • 直流夾具：三軸夾具100FA/同軸夾具10PA
  • 探針臺臺體：帶高剛性龍門架結(jié)構(gòu)，便于顯微鏡的移動，行程2英寸*2*2英寸，精度1um（顯微鏡可氣動升降）
  • 探針臺臺體：帶自適應(yīng)減震機構(gòu)，帶標(biāo)準(zhǔn)地線，防止靜電干擾
  • 以上為主要參數(shù)，詳細參數(shù)可以下載資料或者聯(lián)系我司銷售。

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