產(chǎn)品概要：
DH系列探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺, 最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設(shè)備配置十分豐富，不僅具備龍門架結(jié)構(gòu)和卡盤的升降功能，還具備業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的卡盤快速移動技術(shù)，可快速定位樣品位置，提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離，同時也方便探針卡的使用。此設(shè)備在大型實驗室或者半導體工廠得到廣泛運用，配合對應(yīng)的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LCD/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試，也可以實現(xiàn)搭載探針卡的測試。
技術(shù)特點：
• 卡盤可 360 度快速移動，便于快速定位樣品位置，提高測試效率 ；
• 三段式可升降探針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；
